N'ime usoro Plasma-to-Chemical Vapor Deposition (PECVD), njikọ eletriki ọ bụla, site na nnyefe ike RF ruo na nhazi njikwa gas, na-emetụta kpọmkwem otu ihe dị na ntinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na mmepụta chip. Na-eche gburugburu ebe siri ike nke akụrụngwa pere mpe ihu, nnukwu oghere ikuku, na nnyonye anya electromagnetic siri ike,WAGOnjikọ picoMAX®, yana uru atọ ha dị mkpa nke "mkpakọ, ntụkwasị obi, na arụmọrụ," aghọọla ngwọta njikọ kacha mma maka sistemụ PECVD.
Nhazi Kọmpat Ọhụrụ
Imeghari na Nhazi Ụlọ Nkịtị
Oghere dị n'ime nke ngwa PECVD pere mpe, nke chọrọ nhazi ike, akara, na ahịrị mmetụta gburugburu ụlọ mmeghachi omume. picoMAX® na-eji otu spring, nke nwere ọtụtụ pin pitches nke 3.5/5.0/7.5mm dị. Mgbe ọ gwakọtara, ọ na-ewe obere oghere 30% karịa ngwaahịa ndị gara aga, na-agbanwe agbanwe nke ọma na ihe achọrọ maka waya gburugburu ụlọ ahụ. Njikọ oghere ya fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ihe niile dị na isi pin ahụ, na-akwado nzukọ n'akụkụ na-enweghị mfu nke ogwe, na-eme ka ojiji bọọdụ sekit ka mma nke ukwuu ma na-enye ohere maka nhazi usoro nke mgbaàmà na eriri ike na-enweghị igbochi mpaghara usoro gas.
Nchedo siri ike megide ọnọdụ ọrụ dị oke njọ
Usoro PECVD gụnyere nnukwu oghere ikuku, plasma ugboro ugboro, na gburugburu mkpọtụ, na-etinye ihe siri ike n'ịtụkwasị obi na njikọ. PicoMAX® nwere usoro kwụsiri ike nke nwere ike iguzogide mkpọtụ ruo 12g, na-egbochi nkwụsịtụ njikọ nke mkpọtụ ugboro ugboro kpatara. Ọ gụnyekwara imewe mgbochi itinye ihe na ngwaọrụ mkpọchi, na-ewepụ njehie nwụnye ma na-egbochi nkwụsịtụ mberede, na-ahụ na akụrụngwa na-aga n'ihu na-arụ ọrụ na-enweghị oge nkwụsị.
Njikọ Ngwa Ngwa Na-enweghị Ngwaọrụ
picoMAX® nwere teknụzụ njikọ ngwa ngwa na-enweghị ngwaọrụ, na-enye ohere maka njikọ "plug-and-hold" maka waya otu eriri na ọtụtụ eriri nwere njikọ ndị a pịrị apị. A na-emecha njikọ waya dị mgbagwoju anya n'otu nzọụkwụ, na-eme ka arụmọrụ mgbakọ dịkwuo mma ma na-ebelata usoro nrụzi. Nhazi modular ahụ dakọtara na usoro ịgbado ọkụ na-agbanwe agbanwe, na-emezu mkpa mbelata ọnụ ahịa nke mmepụta akpaaka. Ọ na-ekpuchikwa ọnọdụ njikọ PECVD niile: pitch pin 3.5mm na-anabata waya mgbaàmà 0.2-1.5mm², ebe pitch pin 5.0/7.5mm na-akwado ahịrị ike 16A. Ọ na-akwado ụzọ ntinye waya-na-board na site na mgbidi, dakọtara na kabinet njikwa na waya oghere, ma na-agbaso ụkpụrụ nchekwa eletriki GB/T 5226.1, na-ewulite nchebe siri ike maka nkwụsi ike usoro.
N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, ebe nhazi usoro nanometer dị oke mkpa, njikọ a pụrụ ịtụkwasị obi bụ nkwa nke nnukwu mmepụta.WAGOPicoMAX®, site na echiche imepụta ngwaahịa ya dị iche iche, na-enweta "obere nha, arụmọrụ dị elu" n'ime obere akara ukwu, na-enye ngwọta njikọ kwụsiri ike, dị irè, na nke na-adịgide adịgide maka akụrụngwa PECVD. Nke a na-enyere ndị na-emepụta semiconductor aka imeri ihe ịma aka nke njikọ usoro ziri ezi, na-echekwa nkenke ọkwa micrometer nke mgbawa ọ bụla.
Oge ozi: Maachị-13-2026